應材㩦手科教館設「半導體未來館」　晶圓設備始祖P5000全都露 | 財經 | CTWANT

半導體設備Precision 5000是半導體產業史上的關鍵設備，它首次推出單晶圓多反應室的設計讓晶片生產可以在不犧牲生產速度的前提下維持一次處理一片晶圓的精細模式，全世界只有兩台對外展示，一台就在科教館！（圖／陳柔蓁攝）